Saphirrohr

    Saphirröhren und Saphirinjektoren für die Halbleiterindustrie bieten höchste Reinheit und lange Lebensdauer und ersetzen Quarz und Keramik. Darüber hinaus finden Saphirröhren breite Anwendung in verschiedenen Analysegeräten, beispielsweise in Lampen, die sichtbares, infrarotes oder ultraviolettes Licht emittieren, oft mit hoher Intensität bei hohen Temperaturen und Drücken. Saphir hat sich als Schlüsseltechnologie für den Einsatz aggressiver Prozesschemikalien erwiesen, die mit Quarz- und Keramikkomponenten nicht realisierbar sind.

Hauptspezifikation (in mm)

1.ID: Φ20.00 ~ Φ200.00 (kundenspezifische Ausführungen erhältlich)

2. ID-Toleranz: 0.004 ~ 0.05

3.OD: Φ10.00 ~ Φ180.00 (kundenspezifische Ausführungen erhältlich)

4. Außendurchmessertoleranz: 0.004 ~ 0.06

5. Länge: 10.00 bis 250.00       

6. Längentoleranz: +/-0.01

Oberflächenqualität: S/D40/20

Merkmal

 -Hohe Härte - 9H

 -Kratzfestigkeit

 -Abriebfestigkeit

 -Hohe mechanische Festigkeit

 -Hohe Temperaturbeständigkeit

 - Gute thermische Stabilität

 -Hohe optische Produktionsrate

Halbleiterverarbeitung

(HPD CVD, PECVD, Trockenätzen, Nassätzen)

 -Plasma-Auffangröhrchen

 -Plasma-Applikatorrohr

 -Prozessgaseinspritzdüsen

 -Thermoelement-Schutzhülle (Thermoelement-Schutzhülse)

 -Wasseraufbereitung / Reinigung

 -Hebebolzen

 -Endpunktdetektor

 -Excimer-Koronaröhren

Test und Analytik

 -Kernspinresonanzspektroskopie (NMR)

 -Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP-MS)

 -Thermoptische Temperaturmessung

 -Inline-Erdölverarbeitungsanalyse

 -Massenspektroskopie

 -Analyse biologischer und chemischer Proben

 -Verstopfte Rohre

 -Reagenzgläser

Lampen und Lampenfassungen

 -Elektronische Infrarot-Gegenmaßnahmen

 -Sterilisation mit ultraviolettem Licht

 -Blitzlampen

 -Hochleistungslampen